Others 플라즈마 밀도

2004.06.25 10:55

관리자 조회 수:29923 추천:282

질문 ::

저는 회사에서 플라즈마 장비를 다루고 있습니다.
몇가지 궁금한 점이 있어 글을 씁니다.
우선 플라즈마 밀도에 관해 알고 싶습니다. 플라즈마 밀도 판단의 기준은 무엇이고 어떻게 측정하는지 알고 싶습니다. 그리고 또 한 가지는
장비의 운용에 있어서 플라즈마의 밀도를 어떻게 조절할 수 있나요?
일반적으로 전류, 전압을 가지고 조절할 수 있을것 같은데 어느쪽이  큰 인자인지도 궁금합니다

답변 ::

플라즈마 밀도는 단위 부피내의 이온화된 플라즈마 입자의 수를
의미하고 일반적으로 플라즈마의 이온이나 전자의 수가 cm^3내에
몇개나 있는 가를 뜻하게 됩니다. 플라즈마는 준 중성상태를 유지하고
있음으로 전자의 수나 이온의 수는 거의 같은 수를 갖습니다.
이런 플라즈마 밀도는 정전 탐침, Langmuir 탐침 범으로 쉽게 측정할
수 있습니다. 이는 도체 탐침을 플라즈마 반응기 내에 넣고 탐침에
플라즈마 전위에 대해 음 전위와 양전위를 인가하게 되면 아주 낮은
음전위에서는 양이온이 탐침을 통해 흐르게 되고 탐침의 인가 전위가
점점 플라즈마 전위에 가까이 가면서 플라즈마 내의 전자 전류가
탐침을 통해 흐르게 됩니다. 점차 증가하는 전류는 플라즈마 내의
전자에 열적 평형상태에 따라 그 기울기를 달리 함으로 그 기울기로
부터 전자의 온도를 측정할 수도 있습니다. 플라즈마 전위 이상의
인가 전위에서는 탐침에 전자 전류가 흐르게 되고 플라즈마 전위에서의
전자 전류를 포화 전자 전류라 하고 이로 부터 플라즈마 밀도를 계산하게 됩니다.
탐침의 예에서 알 수 있듯이 반응기 내의 전극에도 플라즈마 전류가 흐르게 되고
이 크기는 전자의 온도, 플라즈마 밀도( 즉 이온의 밀도 혹은 전자의 밀도)에 비례하게 됩니다. 플라즈마 밀도는 플라즈마의 발생과정에
밀접하게 관여되는데 이 현상은 일단 DC 플라즈마가 어떻게 형성되는가 하는 점과 Paschen's curve를 이해하면 쉽게 답을 찾을 수 있을 것 입니다. 이 같은 내용은 일반적인 플라즈마 관련 책에서 답을 찾을 수
있을 것이며 옆의 난에 있는 플라즈마 강의록의 기초 플라즈마 편을
보시고 이해하시기 바랍니다. 아울러 플라즈마의 특성에 관해서는
여러번 설명을 드렸으니 본란을 참고하시기 바랍니다.
따라서 플라즈마 밀도의 변화는 입력 전력, 운전 압력에 따라 크게 변하게 됨을 염두에 두시고 제반 현상을 관찰해 보시기 바랍니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
272 Microwave & RF Plasma [1] 67
271 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 75
270 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 104
269 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 119
268 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 129
267 LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] 141
266 corona model에 대한 질문입니다. [1] 168
265 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 169
264 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 181
263 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 199
262 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 223
261 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 231
260 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 297
259 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 299
258 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 299
257 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 304
256 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 313
255 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 333
254 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 340
253 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 356

Boards


XE Login