Others RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유

2022.07.08 16:18

빡깽 조회 수:1216

안녕하세요. 최근 RF Power Reflect 감소를 위해 Plasma에 대해 공부하고 있는, 반도체 회사 직장인입니다.

 

다름이 아니라, RF Power의 Hunting성 Reflect를 감소하기 위해 Gas Flow를 Ramping 형식으로 평가한 자료를 보내되었습니다.

Gas를 이와 같이 점진적으로 증가시키며 Flow할 때와, 한번에 Set Flow를 했을 때

Plasma 형성의 차이와, 왜 이 같은 방식이 RF Power의 Hunting을 감소시키기 위한 방안인지에 대한 상관관계에 대해 궁금증이 생겨 글을 남기게 되었습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
252 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 368
251 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
250 plasma modeling 관련 질문 [1] 383
249 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 389
248 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 394
247 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 420
246 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
245 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 429
244 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 437
243 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 438
242 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 441
241 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 445
240 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 450
239 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 463
238 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 469
237 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 474
236 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 477
235 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 480
234 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 495
233 self bias [1] 513

Boards


XE Login