안녕하세요. 최근 RF Power Reflect 감소를 위해 Plasma에 대해 공부하고 있는, 반도체 회사 직장인입니다.

 

다름이 아니라, RF Power의 Hunting성 Reflect를 감소하기 위해 Gas Flow를 Ramping 형식으로 평가한 자료를 보내되었습니다.

Gas를 이와 같이 점진적으로 증가시키며 Flow할 때와, 한번에 Set Flow를 했을 때

Plasma 형성의 차이와, 왜 이 같은 방식이 RF Power의 Hunting을 감소시키기 위한 방안인지에 대한 상관관계에 대해 궁금증이 생겨 글을 남기게 되었습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5835
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17293
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53128
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64518
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85135
225 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 392
224 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 397
223 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 423
222 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 433
221 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 454
220 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 459
219 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 463
218 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 473
217 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 482
216 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 490
215 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 495
214 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 520
213 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 526
212 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 540
211 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 575
210 교수님 질문이 있습니다. [1] 583
209 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 613
208 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 613
207 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 616
206 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 630

Boards


XE Login