안녕하십니까 

플라즈마 장비 관련하여 공부하던 중 아킹 관련하여 궁금증이 생겨 문의드립니다.

 

혹시 웨이퍼를 잡아주는 엣지링이나 전극의 소재 특성을 바꾸어 주어 방전 효과를 준다면 아킹을 줄일 수 있을지 문의드립니다. 

 

추가로 엣지링의 전도도와 같은 특성을 변경한다면 쉬스 영역에 변화가 생길지도 문의드립니다.

( 전도도가 높을 때와 낮을 때 쉬스의 변화가 있는지 궁금합니다.)

 

아직은 지식이 많이 부족한 상태입니다. 많은 도움 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [298] 77510
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20594
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57528
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69037
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93174
259 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 347
258 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 347
257 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 361
256 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
255 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 399
254 plasma modeling 관련 질문 [1] 402
253 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 410
252 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 428
251 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 438
250 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 454
249 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 460
248 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 463
247 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 464
246 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 480
245 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 481
244 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 483
243 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 483
242 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 485
241 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 488
240 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 495

Boards


XE Login