Others 플라즈마 밀도와 라디칼

2024.03.13 13:45

김준서 조회 수:435

안녕하세요, 플라즈마에 대해 공부중인 3학년 학부생입니다.

 

플라즈마 밀도는 탐침을 통해 전자의 밀도를 측정함으로써 계산한다고 알고 있습니다.

플라즈마는 준준성이므로, 사실상 이는 이온의 밀도와도 거의 비슷할 것으로 생각합니다.

그렇다면 라디칼의 밀도 또한 플라즈마 밀도와 비례하는 것이 맞나요?

 

전자&이온 밀도 증가<-비탄성 충돌을 일으킬만한 에너지를 가진(가속된) 전자가 충분하며, gas의 몰(mole)수도 충분함

<-따라서 라디칼의 생성 확률도 높음

 

추가적으로, Pressure가 플라즈마 밀도에 끼치는 영향이 궁금한데,

인터넷에서는 압력이 증가하면 기체 몰수가 증가하므로 그만큼 이온&라디칼이 많아진다고 설명하는 글이 많았습니다.

하지만 흔히 알려진 파셴법칙과 연결해서 생각해보면, 압력이 증가할수록 MFP 또한 짧아지기 때문에 그만큼 전자가 충분히 가속되지 못할 가능성이 있다고 생각합니다. 따라서 최대한의 플라즈마 밀도 구현을 위해서는 적절한 Pressure을 설정해 주어야한다고 생각하는데, 해당 분석이 맞을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [299] 77613
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20657
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57600
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69090
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93291
259 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 349
258 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 349
257 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 361
256 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 379
255 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 402
254 plasma modeling 관련 질문 [1] 404
253 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 411
» 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 435
251 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 440
250 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 457
249 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 462
248 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 464
247 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 464
246 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 482
245 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 486
244 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 486
243 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] 487
242 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 488
241 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 490
240 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 495

Boards


XE Login