Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
2018.12.30 00:14
안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.
RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [181] | 74898 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18754 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56234 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66728 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88161 |
| 211 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 637 |
| 210 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 661 |
| 209 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 668 |
| 208 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 693 |
| 207 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 695 |
| 206 | Collisional mean free path 문의... [1] | 701 |
| 205 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 739 |
| 204 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 764 |
| » | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 764 |
| 202 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 775 |
| 201 | 문의 드립니다. [1] | 776 |
| 200 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 795 |
| 199 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 798 |
| 198 |
전자 온도 구하기
[1]  | 803 |
| 197 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 807 |
| 196 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 854 |
| 195 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 856 |
| 194 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 861 |
| 193 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 879 |
| 192 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 881 |
글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.
다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.
아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.