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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[268]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20168 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57164 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 관련 교육
[1] | 1404 |
172 |
O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1422 |
171 |
PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1441 |
170 |
강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1444 |
169 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1463 |
168 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1506 |
167 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1533 |
166 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1561 |
165 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1605 |
164 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1675 |
163 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1682 |
162 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1688 |
161 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1746 |
160 |
플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
[1] | 1787 |
159 |
플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다....
[1] | 1840 |
158 |
공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
| 1860 |
157 |
쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문
[1] | 1902 |
156 |
플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?
[1] | 1950 |
155 |
ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다.
[2] | 1969 |
154 |
CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도
[1] | 1983 |
저온 플라즈마의 단점이라고 하셨는데 저온 플라즈마를 어디에 활용할 때의 단점이라는 뜻인지,
또 저온이라는 것이 무엇 대비 얼마나 온도가 낮은 플라즈마를 뜻하는 것인지 명확한 질문 부탁합니다.