Ion/Electron Temperature 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서

2014.05.22 00:32

원우야놀자 조회 수:3165

아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지던데

혹시 물이 분해되면서 나온 산소나 OH-때문에 온도가 떨어질수있나요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76671
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20149
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68669
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92167
173 플라즈마 관련 교육 [1] 1402
172 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1418
171 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1440
170 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1443
169 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1462
168 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1501
167 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
166 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1558
165 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1602
164 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1670
163 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682
162 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1685
161 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1744
160 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1778
159 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1828
158 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1859
157 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1897
156 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1941
155 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1964
154 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1974
쓰기
태그

Boards

XE Login