DC glow discharge 안녕하세요 교수님.
2012.05.31 00:49
안녕하세요 저는 전기공학을 전공하고있는 학부생입니다.(물론 서울대 학생이 아닙니다)
플라즈마공학 수업을 듣던중 궁금한것이 있어 이렇게 질문을 드립니다.
제가 이번에 간단한 플라즈마 DC 방전관을 설계하게 되었는데 음극의 2차전자계수가 필요한데 여러가지 검색이나 많은 경로로 찾아보았지만 아무래도 전문적인 것이라 쉽게 찾아볼수가 없어서 이렇게 감히 무례를 무릅쓰고 질문을 드립니다.
음극에는 어떠한 물질(어떤 금속이나 도체가 쓰이는지)와 그 물질의 2차전자계수를 알수있는 자료나 사이트등을 알 수 있는지 궁금합니다!
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20183 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68698 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
| 133 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3443 |
| 132 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3444 |
| 131 | 방전에서의 재질 질문입니다. [1] | 3557 |
| 130 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3721 |
| 129 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3748 |
| 128 | RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] | 3768 |
| 127 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 3954 |
| 126 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4178 |
| 125 | Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] | 4805 |
| 124 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 5151 |
| 123 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5676 |
| 122 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5927 |
| 121 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 6178 |
| 120 | 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] | 6418 |
| 119 | O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] | 6436 |
| 118 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
| 117 | 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] | 6540 |
| 116 | MFP에 대해서.. [1] | 7823 |
| 115 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
| 114 | 핵융합에 대하여 | 8563 |
이온이 높은 에너지로 고체 표면에 충돌하면 표면에서 전자가 방출되는데, 이것을 2차 전자 방출이라 합니다. 음극에 입사하는 이온의 수와 방출되는 2차 전자의 수와의 비를 2차 전자 방출 계수라고 정의합니다. 2차 전자는 전극 표면에서 양이온, 여기된 원자, 전자, 열에너지, 전기장, 그리고 광자 등과의 반응을 통해서 방출될 수 있습니다. 이 중에서 양이온에 대한 2차전자방출 메커니즘은 1928년 페닝(Penning)이 제안하였습니다. 페닝의 이론은 음전극에서의 전자가 가지는 에너지 준위와 터널링 효과(tunneling effect), 그리고 오제 방출(Auger emission)을 이용하여 설명하였습니다. 보다 자세한 설명은 다음 서적을 참고하시기 바랍니다. Michael A. Liebermann, Principles of Plasma Discharge and Materials Processing, Wiley-Interscience; 2 edition, 2005.
2차전자방출계수는 전극의 표면의 조건, 형태, 순도, 그리고 오염도에 민감하게 의존합니다. Raiser에 의하면 이오네 의한 2차전자방출계수에 대한 실험식은 근사적으로 다음과 같이 나타낼 수 있습니다.
2차전자방출계수 ~ 0.016(기체의 이온화 에너지 - 2*전극의 일함수)
2차전자방출계수는 이온의 에너지에 따라 달라지며 이온의 에너지가 1keV 이하인 경우 다음과 같습니다.
He+
Ne+
Ar+
Xe+
H2+
N2+
O2+
Tungsten
0.21
0.30
0.09
0.02
Platinum
0.003
0.005
0.0005
Nickel
0.4~1.0
0.4~0.6
0.1~0.2
Molybdenum
~0.2