Others 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해

2020.07.18 20:56

꿈꾸는 조회 수:3749

안녕하세요.


저는 CVD로 탄소화합물을 합성하는 일을 하고 있습니다만, 진공장치, 플라즈마에 대해서는 전공분야가 아니다 보니 원천기술이 많이 부족합니다.


알곤 분위기의 CVD장비로 수소와 탄소 등의 가스를 사용하여 탄소화합물을 만들때 챔버 내부의 오염이 공정에 영향을 주는 것으로 파악되고 있는데, 추정하기를 챔버 내부의 산소 또는 수분의 영향으로 짐작하고 있습니다.

1. 챔버의 진공도를 어느 정도 낮추어야 산소나 수분의 영향을 거의 없도록 할 수 있을까요? 물론 UHV까지 낮추면 좋겠지만, 통상 10 -6승에서 10 -3승까지 운용하고 있는데, 이 정도의 진공도에서 산소나 수분의 영향이 어떤지 모르겠습니다.


2. 완전한 고진공(UHV)로 내리는 것 말고 산소나 수분을 효율적으로 제거하는 방법이 있는지요?

3. 챔버 내벽에 산소나 수분이 붙어 있다고 해도, 챔버 내부로 떨어져 공간에 있지 않다면(물론 내벽에서 떨어지면 공간에 있겠지만, 진공을 계속 뽑는중이라 제거가 되지 않는지?) 챔버 내부의 샘플에 영향을 줄지 아니면 외부로 배출되는 확률이 높은지 알 수 있을까요? 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20184
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
133 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2727
132 질문있습니다. [1] 2571
131 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 2432
130 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 2396
129 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2327
128 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2281
127 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2239
126 플라즈마볼 제작시 [1] file 2236
125 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2216
124 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2173
123 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2128
122 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2127
121 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2016
120 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1987
119 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1973
118 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1954
117 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1908
116 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1861
115 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1843
114 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1795
쓰기
태그

Boards

XE Login