Others 문의 드립니다.

2017.03.23 15:40

메탈 조회 수:866

안녕하세요. 반도체 회사 근무중인 송용재입니다.


3가지 질문을 드리려고 합니다.


염근영 교수님 플라즈마 식각 기술이라는 책을 구매하여 보고있는데 제 실력이 부족해서 이해가 되지않아 질문 남깁니다.


1.  이온의 속도는 왜 전자의 온도로 결정되는건가요? 공식은 알겠지만 .. 메카니즘이 이해되지 않아 질문 남깁니다.


2. RF 등가회로는 왜 저항으로 표기 되는건가요??


3. 파센법칙 관련해서 질문드립니다.

    진공상태에서 거리가 멀어지는데 왜 입자수가 증가되는건가요?

     입자간의 전기장은 전자의 가속과 왜 관계가 있는건가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76683
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57156
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68676
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92193
93 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1235
92 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1224
91 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1154
90 Group Delay 문의드립니다. [1] 1143
89 자기 거울에 관하여 1136
88 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1130
87 wafer bias [1] 1127
86 전자 온도 구하기 [1] file 1123
85 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1114
84 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1113
83 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1073
82 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1046
81 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1036
80 플라즈마 코팅 [1] 1036
79 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1029
78 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
77 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 997
76 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 965
75 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 961
74 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 956

Boards


XE Login