Others 잔류시간 Residence Time에 대해
2021.06.08 10:34
안녕하세요 박사님. 플라즈마 장비를 다루는 반도체 장비 회사에 다니는 연구원입니다.
항상 좋은 글 잘 보고 있습니다.
다름이 아니라 저희가 현재 유입하는 Gas의 유량을 조절하여 이것이 공정에 어떤 영향을 끼치는지 분석하고 있습니다.
저희가 펌프의 Valve를 고정해놓고 실험을 했기 때문에 유입시키는 Gas 양을 줄이면서 자연스럽게 Pressure 또한 줄어 들었는데,
이 때 Gas의 Residence Time 이 어떻게 변하는지 궁금합니다.
같은 양의 Gas라고 하더라도 Residence time에 따라 공정 결과 값이 바뀔 것 같은데
이 Residence time은 어떻게 구할 수 있을까요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76681 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57152 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68673 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92189 |
| 73 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 954 |
| 72 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 942 |
| 71 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 940 |
| 70 | 문의 드립니다. [1] | 866 |
| 69 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 864 |
| 68 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 853 |
| 67 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 851 |
| 66 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 823 |
| 65 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 804 |
| 64 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 799 |
| 63 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 792 |
| 62 | Collisional mean free path 문의... [1] | 785 |
| 61 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 780 |
| 60 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1]  | 754 |
| 59 | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 740 |
| 58 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 734 |
| 57 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
| 56 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 706 |
| 55 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 692 |
| 54 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 684 |