Collision 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.

2014.05.02 15:51

곽형신 조회 수:1462

플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요

분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.

근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서  위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.

이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요

혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76691
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68680
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92218
113 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1744
112 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1686
111 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682
110 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1670
109 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1602
108 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1559
107 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
106 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1502
» 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1462
104 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1443
103 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1440
102 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1419
101 플라즈마 관련 교육 [1] 1402
100 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1386
99 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1344
98 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 1342
97 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1326
96 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1284
95 플라즈마 기초입니다 [1] 1279
94 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1236
쓰기
태그

Boards

XE Login