Others O2 Plasma 에칭 실험이요

2019.01.30 14:20

Elin0503 조회 수:1292

안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.


이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.


그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..


혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면 


공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..


도움 부탁드리겠습니다..

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 111558
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27860
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 65137
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76968
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111224
81 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1377
80 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1370
79 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1354
78 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1340
77 자기 거울에 관하여 1319
76 ICP/CCP 플라즈마 식각 공정 개발 [Plasma sheath 및 Plasma generation] [1] 1315
75 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1313
74 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1306
» O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1292
72 RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1284
71 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1282
70 RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계] [1] 1268
69 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1264
68 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 1244
67 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [광운대 플라즈마 바이오 연구소] [1] 1232
66 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1225
65 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1217
64 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [플라즈마 표면 반응] [1] 1210
63 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1169
62 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1166

Boards


XE Login