Sheath 교수님 질문이 있습니다.
2019.07.01 18:46
안녕하세요 교수님 , 저는 최근들어 반도체공정관련해서 공부중인 지나가던(?) 기계공학과 학생입니다 !
다름이 아니라 , 플라즈마 sheath에 대해 찾아보니까 약간 개념적으로 정확하게 잘 정립이 안되서 이곳저곳 찾다가 이곳을 알게되어
이렇게 질문을하게 되었습니다.
플라즈마 sheath는 제가 찾아본바에 의하면 , 전자는 양이온보다 속도가 빨라서 chamber벽 같은곳에 흡수가 잘되어서 결국 소실되는게 많아
상대적으로 양이온,중성자만 많게된 곳을 sheath라고 알고있습니다. 그런데 , sheath 층은 얇을수록 플라즈마 bulk( 플라즈마 sheath가 아닌영역)안에 있는 양이온이 이동하기가 쉬워서 결국 wafer를 양이온으로 dry etch하는게 더 쉽다는데,
1.왜 sheath층이 얇을수록 양이온이 더 이동하기 쉬운지 알고싶습니다.
2. 그리고 sheath층을 줄이려면 어떤방법들이 있을까요?? ex> (답은아니겠지만...) 가해주는 전압을 줄인다. 등등 간단한식으로 말씀해주셔도 전혀 상관없습니다 !!
감사합니다 교수님 !!
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75788 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19471 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56677 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68065 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90361 |
| 68 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 907 |
| 67 | 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] | 876 |
| 66 | 문의 드립니다. [1] | 831 |
| 65 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 816 |
| 64 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 800 |
| 63 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 797 |
| 62 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 785 |
| 61 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 767 |
| 60 | Collisional mean free path 문의... [1] | 741 |
| 59 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 728 |
| 58 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 715 |
| 57 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 704 |
| 56 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 690 |
| » | 교수님 질문이 있습니다. [1] | 688 |
| 54 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 669 |
| 53 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 654 |
| 52 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1]  | 642 |
| 51 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 640 |
| 50 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 613 |
| 49 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 604 |
쉬스에 대한 설명을 게시판에 수차례 진행되었으니 한번 더 찾아 보세요. 쉬스 크기 (두께) 가 갖는 함수식을 찾을 수 있겠습니다. 이를 쉬스 대부분은 Child-Langmuir sheath라 하고, collisionless, infinite boundary에서 형성된 쉬스로서 인가 전압 (플라즈마-타킷전압)과 플라즈마 밀도의 함수입니다. 반도체 공정을 공부함에 있어 쉬스에 대한 이해는 '필수'이니 시간 들여서 찾아 보면서 충분히 이해하기를 추천합니다.