플라즈마 띄울때

 

산소 소모량이 40 l/min이라고 합니다.

 

(공기평균 분자량은 29 g/mol)이라고 괄호가 쳐있구요

 

만약 Ar일때는 분당 몇 l가 소모될까요???

 

자세한 답변 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22003
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58784
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70420
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96407
140 플라즈마 압력에 대하여 [Glow discharge와 light] [1] 2820
139 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [LF와 Sheath] [1] 2756
138 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 2725
137 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 2593
136 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2531
135 LF Power에의한 Ion Bombardment [플라즈마 장비 물리] [2] 2429
134 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2411
133 플라즈마볼 제작시 [전기장 형성 및 플라즈마 방전] [1] file 2389
132 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2346
131 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2339
130 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 2309
129 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2296
128 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다. [Experiment와 KFE] [1] 2289
127 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [Plasma information variable model] [1] 2267
126 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2262
125 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [Lorentz force와 magnetic confinement] [1] 2235
124 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2161
123 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [Floating sheath] [1] 2104
» 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지] [1] 2099
121 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [플라즈마 생성 분포와 sheath 전기장] [1] 2013

Boards


XE Login