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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68676
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118 라디컬의 재결합 방지 [1] 788
117 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1443
116 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3323
115 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 966
114 플라즈마 챔버 [2] 1235
113 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1666
112 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1311
111 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1347
110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 806
109 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1477
108 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16648
107 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2307
106 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2466
105 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4472
104 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3678
103 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 432
102 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2370
101 remote plasma 데미지 질문 [1] 14452
100 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1910
99 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1257
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