| 번호 | 제목 | 조회 수 |
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| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67558 |
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| 3 | CCP/ICP , E/H mode | 22584 |
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| 1 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 31570 |