안녕하십니까 교수님. 플라즈마를 이용하는 반도체 장비업체를 다니는 연구원입니다.

 

언제나 친절한 답변 감사 드립니다.

 

다름이 아니라 책을 통해서 Study를 하던 중 궁금한 것이 생겨서요.

 

Microwave plasma에 대해 공부하는데, Radio 와는 다르게 2.45GHz의 고주파 플라즈마를 형성하면

 

파장이 12.5cm로 훨씬 작아지게 되고 따라서 플라즈마의 크기도 이에 따라 작아진다고 하는데

 

왜 파장 길이 이상의 플라즈마 형성이 안되는 것인지 궁금합니다.

 

저는 지금 13.56MHz CCP방식으로 Chamber에 플라즈마를 형성하는데 이 주파수의 경우 파장의 길이보다 플라즈마가 형성되는 챔버의 크기가 훨씬 작게 되는데, 

 

플라즈마가 형성되는 공간이 파장보다 작은 것은 괜찮은데 더 큰것은 왜 안되는지 그 이유가 궁금합니다.

감사합니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
135 plasma striation 관련 문의 [1] file 462
134 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1122
133 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1119
132 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 973
131 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 809
130 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 4717
129 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1412
128 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 588
127 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 825
126 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 967
125 plasma 형성 관계 [1] 1465
124 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 705
» RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2278
122 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3499
121 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 850
120 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2250
119 anode sheath 질문드립니다. [1] 961
118 라디컬의 재결합 방지 [1] 779
117 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1427
116 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3314

Boards


XE Login