안녕하세요 저는 RF Plasma 관련 직종에 근무하는 직장인 입니다.

 RF generator에서 Frequency tuning (주파수 가변)  기능을 사용하고 있는데, 주파수 변화에 따라서 Matcher에서 읽혀지는 Vrms 값이 심하게 변화하는것을 확인하였습니다.

Frequency 높아질수록 (13.56Mhz 기준) Vrms 높아짐 / Irms 큰변화 없음 / Phase 높아 지는데, 왜 Frequency 변화에 따라 Vrms와 Phase가 변하고, Irms는 큰 변화가 없는 것일까요?

주파수에 따른 Vrms, Irms, Phase의 연관성을 알수 있을까요.

조언 부탁드립니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
95 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1043
94 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 790
93 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 19768
92 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1576
91 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11070
90 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2252
89 공정플라즈마 [1] 1136
88 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 508
87 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1944
86 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1039
85 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1920
84 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2667
83 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 491
82 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 743
81 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1655
» RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1176
79 Plasma Generator 관련해서요. [1] 905
78 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 515
77 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17505
76 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594

Boards


XE Login