CCP 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련
2020.01.02 18:46
안녕하십니까?
이전에 에쳐장비 관련 장비메이져 회사에서 근무한 경험이 있습니다.
그당시, 에쳐장비에서 HF/LF가 RF가 인가가 되는데,
그라운드 링이라는 하드웨어가 상부전극 주위 즉 Deposhield윗 공간에 존재를 하였습니다.
에쳐장비에서 RF관련 그라운드를 어떻게 잡는지가 궁금합니다.
(그라운드를 잡지않으면, 아킹이나 노이즈 등의 위험이 있다고 생각합니다.)
확인 및 답변 부탁드립니다.
새해 복 많이 받으시고, 행복한 한해 되십시오.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76540 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68615 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91696 |
95 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1044 |
94 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 791 |
» | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19768 |
92 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1576 |
91 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11079 |
90 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 2258 |
89 | 공정플라즈마 [1] | 1136 |
88 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 508 |
87 | RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] | 1946 |
86 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1040 |
85 | 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] | 1920 |
84 | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 2670 |
83 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 492 |
82 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 743 |
81 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1655 |
80 | RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] | 1176 |
79 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 905 |
78 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 515 |
77 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17505 |
76 | CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] | 1594 |
상기관련, 에쳐장비에서 HF/LF의 기본적으로 접지를 잡는방법이 궁금합니다.
또한 그라운드관련 그라운드 기능을 하는 하드웨어파트가 없어도, 큰 무리는 없는지 궁금합니다.
확인 부탁드립니다.
감사합니다.