번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] 76683
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20152
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57155
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68675
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92189
138 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 572
137 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 607
136 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1055
135 plasma striation 관련 문의 [1] file 468
134 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1153
133 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1164
132 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 991
131 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 811
130 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 4887
129 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1438
128 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 590
127 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 826
126 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 970
125 plasma 형성 관계 [1] 1502
124 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 712
123 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2307
122 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3523
121 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 860
120 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2262
119 anode sheath 질문드립니다. [1] 979
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