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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 67981
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126 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 912
125 plasma 형성 관계 [1] 1315
124 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 644
123 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2064
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113 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1603
112 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1094
111 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1171
110 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 706
109 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1313
108 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16544
107 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2157
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