번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20169
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68693
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92268
79 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1941
78 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1950
77 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2000
76 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2232
75 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 2269
74 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2310
73 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2312
72 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 2312
71 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 2377
70 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2471
69 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2638
68 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2685
67 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2772
66 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3323
65 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3404
64 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3527
63 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3693
62 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4008
61 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4482
60 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 4913
쓰기
태그

Boards

XE Login