ICP 플라즈마가 불안정한대요..
2004.06.25 16:43
질문 ::
planar ICP를 만들면서 (아직 완성 못 했슴) 조그만 helical coil ICP(유리관 주위로 코일 감음)를 만들어 플라즈마를 생성시켜 봤습니다. 그런데 플라즈마가 안정하지가 않고 세졌다 약해졌다 (reflected power가 거의 0%에서 대충 80~90% 가까이까지 왔다갔다 합니다.)를 반복합니다. 제가 체크해볼 수 있는 사항에는 어떤 것들이 있을까요?
그럼 다시 감사드리며.. 새해 복 많이 받으십시요.
답변 ::
압력과 전력을 낮추고 플라즈마를 좀 더 오랜시간을 켜 놓으세요.
플라즈마도 새로운 환경에 적응하려면 시간이 걸립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76694 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68681 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92218 |
158 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 66 |
157 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 70 |
156 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 79 |
155 | CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] | 90 |
154 | ICP에서의 Self bias 효과 [1] | 97 |
153 | skin depth에 대한 이해 [1] | 107 |
152 | ICP에서 전자의 가속 [1] | 126 |
151 | 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] | 140 |
150 | CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] | 150 |
149 | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 248 |
148 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 317 |
147 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 348 |
146 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 428 |
145 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 432 |
144 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 468 |
143 | plasma striation 관련 문의 [1] | 469 |
142 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 499 |
141 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 512 |
140 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |
139 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 527 |