ICP ICP 대기압 플라즈마 분석

2021.11.11 14:47

플라즈마스터 조회 수:706

안녕하세요. 교수님,

 

 

합성을 목적으로 두고 있는 5kW, 13.56MHz RF generator, ICP coil 을 이용해 대기압 플라즈마를 생성할 때 플라즈마 특성을 분석을 하고 싶은데,  일반적으로 많이 사용하는 RGA는 진공 환경에서 작동되는 것으로 알고있습니다. 관련 내용을 홈페이지에서 검색해 보니 2004년도에 교수님께서는 탐침과 OES 등을 이용해 분석하셨다고 쓰여있는데,

 

1. 혹시 그 동안 분석 방법에 대해서 발전된 것이 있는지,

2. 여전히 같은 방법으로 사용하고 계시다면 탐침과 OES로 어떤 것을 사용하였는지 

 

제가 고체 물리 전공이지만 시료 합성을 위해 PECVD 관련 내용을 공부한지 얼마 안돼 관련 전공 지식이 많이 부족한 상태입니다. 추가적으로 해당 모델에 대해서 제가 공부하기 좋은 내용을 추천해 주시면 감사하겠습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76543
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
155 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 22
154 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [1] file 35
153 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 72
152 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [2] 94
151 ICP에서 전자의 가속 [1] 108
150 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 131
149 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 235
148 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 307
147 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 333
146 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] 405
145 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 425
144 plasma striation 관련 문의 [1] file 462
143 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 462
142 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 467
141 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 492
140 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 508
139 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 515
138 핵융합 질문 [1] 561
137 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 567
136 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 574

Boards


XE Login