Remote Plasma PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활
2023.03.02 15:45
기초적인 질문인데요
PECVD 장비에서 Cleaning을 할때 보통 Remote plasma NF3 + Ar Gas를 사용하는데요
Ar Gas의 정확한 역할을 알고 싶습니다.
Purge나 Carrier 용도라면 N2나 O2도 사용가능한데 굳이 Ar을 사용하는 다른 목적이 있는건지 궁금합니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [180] | 74896 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18752 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56231 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66716 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88082 |
| 142 | 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [1] | 82 |
| 141 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 285 |
| 140 |
plasma striation 관련 문의
[1]  | 314 |
| 139 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 328 |
| » | PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] | 352 |
| 137 | H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] | 363 |
| 136 |
진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문
[1] | 400 |
| 135 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 411 |
| 134 | 핵융합 질문 [1] | 420 |
| 133 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 427 |
| 132 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 432 |
| 131 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] | 454 |
| 130 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1] | 476 |
| 129 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 528 |
| 128 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 563 |
| 127 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 566 |
| 126 | Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] | 577 |
| 125 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 588 |
| 124 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 599 |
| 123 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 632 |
Ar 플라즈마를 공부해 보시면 좋을 것 같습니다. sputter 용으로 쓰이기도 하는데, 이는 mass 관점입니다. 다른 하나는 불활성 특성이고, 이는 표면 화학 반응에 자유롭다는 특징입니다. 다만 Ar* 의 에너지 전달은 고려해야 할 사항입니다. 마지막으로 플라즈마 관점에서는 Ar*+e (낮은 에너지 전자) --> Ar+ = 2e 로 metastable Ar 이 Ar+ 보다 많이 생성되고 이들은 낮은 에너지에서 이온화가 된어서, 플라즈마 생성과 유지를 수월하게 해 준다는 특성을 가지고 있습니다. 따라서 Ar은 플라즈마 생성, 유지 및 관리 차원에서 많이 사용하게 됩니다. 미세한 표면 화학 반응을 고려할 떄는 여기서 생성되는 metastable Ar*의 거동도 중요한 인자로 관리되고 있음도 참고하시기 바랍니다.
관련해서 메타 스테이블 (준안정상턔) 및 Ar 플라즈마의 광신호 발생 등에 대해 같이 공부해 보시기를 추천합니다.