Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:791

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5816
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17283
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53105
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64496
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85109
119 anode sheath 질문드립니다. [1] 552
118 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 559
117 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 561
116 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 568
115 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 573
114 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 587
113 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 607
112 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 664
111 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 696
110 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 698
109 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 734
108 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 743
107 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 745
106 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 756
105 플라즈마 챔버 [2] 778
104 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 781
» Plasma Generator 관련해서요. [1] 791
102 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 802
101 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 809
100 plasma 형성 관계 [1] 834

Boards


XE Login