안녕하세요, 이번에 대학원에 진학하게 된 학생입니다.


제 전공은 생물공학인지라 플라즈마에 관한 내용을 잘 알지 못하는데, 이번에 샘플의 표면 산화처리를 위해 플라즈마 기계의 이용을 권유받았습니다.

다만 문제가 있는 부분이 제 샘플이 약 10-100um의 플라스틱 분말이라는 점입니다.

진공을 걸고 푸는 과정에서 샘플이 날려 기계에 문제가 될 수 있다는 답변을 받아 여러 방법을 고민중입니다.


제가 고민하는 실험방법은 크게 두 종류입니다.

1. 밀폐가 가능한 유리용기 내에 미리 산소를 주입하여 포화도를 올린 후 밀봉한 상태로 플라즈마 처리

2. 공기는 이동이 가능하나 분말은 이동이 불가능한 사이즈의 필터를 이용해 샘플을 가둬둔 후 플라즈마 처리


이러한 실험이 가능하려면 종이 혹은 유리를 뚫고서 내부에 있는 분말까지 플라즈마 처리가 이루어져야 하는데,

이 부분을 확신할 수 없어 문헌조사만 하고 있습니다.

제가 찾아보고 이해하는데 시간적 한계가 와서 이 곳에 질문을 남깁니다.

답변이 가능하신 부분이라면 좋겠지만, 혹여 그렇지 못하다면 이와 관련된 논문이나 자료가 있을지도 여쭤보고 싶습니다.

제가 사용할 기기는 femco science 사의 cute라는 기계입니다.


답변 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76714
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20170
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68695
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92272
139 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 546
138 핵융합 질문 [1] 567
137 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 574
136 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
135 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 592
134 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 598
133 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 609
132 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] 616
131 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 675
130 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 680
129 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 714
128 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 756
127 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 760
126 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 784
125 라디컬의 재결합 방지 [1] 789
124 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 800
123 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 800
122 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 806
121 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 812
120 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 832

Boards


XE Login