ICP 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?

2017.03.31 11:28

메탈 조회 수:1649

안녕하세요. s전자 송용재입니다.

ICP type 챔버과련 문의 드립니다.

1. RF source power(상단)를 인가하게 되면 전기장이 절연체를 통해 투과하여 plasma가 형성이 됩니다.

   책을 보면 플라즈마내 이온의 에너지는 거의 없고 , 전자는 가속이 된다고 하는데..

   전자만 전기장에 영향이 있는건가요?? 아님 전자의 mobility영향에 따른 상대적인 표현인건가요?

2. 저희 회사의 장비는 endura model icp type RF 장비를 사용하고 있습니다.

    RF bias power쪽은 generator - matcher - chamber 로 power가 들어오는데

    RF source power는 generator - resonator - chamber 로 power전달이 됩니다.

    resonator로 source power부분의 reflect power를 조정하는데 어떤 원리로 조정이 가능한건지 궁금합니다.

    오래된 장비다보니 관련 자료를 업체에서 얻을수도 없네요..

    resonator tap이라는걸 이용해 Coil에 감겨있는 거리에 따라 reflect power가 변한다고 하는데 원리를 모르겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5829
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53124
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64503
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85114
79 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1382
78 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1428
77 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1435
76 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1461
75 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1464
74 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1486
73 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1493
» 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1649
71 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1771
70 가입인사드립니다. [1] 1810
69 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1897
68 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2113
67 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2158
66 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2398
65 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2446
64 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2471
63 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2679
62 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2796
61 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2910
60 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3179

Boards


XE Login