안녕하십니까 교수님 저는 한양대학교에서 학부연구생으로 공부를 하고 있는 이창경입니다.

제가 플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는중에 플라즈마 소스에 대해서 여러가지 알아보았습니다.

그런데 요즘은 ICP 플라즈마 소스의 등장으로 ECR 플라즈마 소스를 잘 사용하지 않는다고 들었는데 그 이유를 정확히 찾지 못하다 교수님의 연구실 홈페이지를 알게 됐고 질문방에 답을 찾다가 찾지 못해서 이렇게 직접 글을 올리게 됐습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20077
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91696
95 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1391
94 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1395
93 ICP lower power 와 RF bias [1] 1405
92 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1412
91 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1427
90 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1450
89 plasma 형성 관계 [1] 1466
88 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1576
87 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
86 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1655
85 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1662
84 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1716
83 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1791
82 가입인사드립니다. [1] 1880
81 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1889
80 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1889
79 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1904
78 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1920
77 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1946
» ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2177

Boards


XE Login