Remote Plasma remote plasma 데미지 질문

2020.04.18 19:32

룰루랄라 조회 수:7751

안녕하세요 


반도체 공부하고 있는 학생입니다


반도체 관련 논문을 읽다 모르는 것이 있어 질문드립니다

remote plasma  경우 소스와 타겟 물질의 거리가 멀어 direct plasma 보다 플라즈마 데미지가 낮다고 하는데,

제가 알기로는 거리가 멀면 mean free path가 길어지고 플라즈마가 가속되어 에너지가 더 큰 것으로 알고 있습니다

그럼 충돌에너지가 커서 데미지가 더 커지는거 아닌가요..?


자세한 답변 부탁드립니다 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2549
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13480
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49688
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61618
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80196
69 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1684
68 가입인사드립니다. [1] 1767
67 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1878
66 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 1894
65 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1917
64 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2156
63 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2285
62 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2490
61 RPSC 관련 질문입니다. [2] 2496
60 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2737
59 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4497
58 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 4564
57 저온 플라즈마에 관해서 [1] 5871
56 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6159
55 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6291
54 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7178
» remote plasma 데미지 질문 [1] 7751
52 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7861
51 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8191
50 수중플라즈마에 대해 [1] 8250

Boards


XE Login