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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[88]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Microwave 장비 관련 질문
[1] | 8279 |
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수중 방전 관련 질문입니다.
[1] | 9154 |
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대기압 플라즈마에 대해서
| 9323 |
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저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다.
| 9412 |
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Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이
[1] | 9776 |
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냉각수에 의한 Power Leak
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에쳐장비HF/LF 그라운드 관련
[1] | 14789 |
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좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[2] | 15327 |
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In-flight plasma process
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RF 변화에 영향이 있는건가요?
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ICP TORCH의 냉각방법
| 15740 |
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플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다.
[1] | 15806 |
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37 |
CCP 의 electrode 재질 혼동
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Plasma Dechuck Process가 궁금합니다.
| 16588 |
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35 |
유전체 플라즈마
| 17219 |
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capacitively/inductively coupled plasma
| 17432 |
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33 |
DBD plasma
| 17884 |
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surface wave plasma 에 대해서
[1] | 18155 |
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ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요?
[1] | 18255 |
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RF를 이용하여 Crystal 세정장치
[1] | 18727 |
