ATM Plasma 기중방전에서 궁금한것이
2004.06.25 12:53
질문 ::
제가 기중방전실험을 통해서 거리가 10-35mm 간격의 구-구 전극에서 습도의 영향을 보고 싶어서 실험을 하였습니다. 습도를 40%-90%까지 가변하면서 전로파괴전압을 측정하였는데 그 결과는 습도가 높을수로 파괴전압을 큰 것으로 나타났습니다. 이쪽에 입문한지 얼마되지 않아서 그 이유가 궁금합니다. 실험하기 전에는 습도가 높을수로 파괴전압이 낮을것이라고 예상했는데, 반복실험을 통해서 관찰해보니 그 결과는 반대인데, 이것을 이론적으로 풀어주시면 더욱더 고맙겠습니다. 아니면 간략하게라도 이유를 설명해주심 감사하겠습니다.
그럼, 안녕히계십시요.
답변 ::
저도 같은 생각인데 결과가 의외입니다. 좀더 구체적으로 자료에
대해서 논의를 해 보면 좋을 것 같습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76683 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68679 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92205 |
58 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6363 |
57 | 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] | 6409 |
56 | 저온 플라즈마에 관해서 [1] | 6640 |
55 | CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] | 7647 |
54 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
53 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8571 |
52 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8615 |
51 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8738 |
50 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9632 |
49 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9661 |
48 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9842 |
47 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10350 |
46 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11284 |
45 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14446 |
44 | remote plasma 데미지 질문 [1] | 14452 |
43 | In-flight plasma process | 15504 |
42 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15919 |
41 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16034 |
40 | CCP 의 electrode 재질 혼동 | 16484 |
39 | 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] | 16648 |