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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62061
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89 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 15420
88 In-flight plasma process 15364
87 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 14963
86 냉각수에 의한 Power Leak 14323
85 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 9790
84 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9426
83 대기압 플라즈마에 대해서 9337
82 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9185
81 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8291
80 수중플라즈마에 대해 [1] 8265
79 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8200
78 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7872
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76 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7189
75 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6303
74 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6170
73 저온 플라즈마에 관해서 [1] 5877
72 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 4665
71 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4520
70 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2758

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