안녕하세요. 교수님


저는 최근 챔버내 Arcing 개선방안에 대해 연구하고 있어서 이 홈페이지에서 Arcing관련 댓글 및 게시글은 전부 읽어보고 이해하려 노력해보았습니다.

그런데도 제가 하려고하는 방향이 옳은지 확신이 들지 않아 질문드립니다.

먼저 source로는 상부의 MW와 하부 ESC쪽 RF를 사용하며 중진공상태에서 공정합니다.

저는 Arcing이 발생되는 원인 중 하나인 전하 축적이 예상되는 파트를 줄이려고 생각했습니다.

챔버내 부품 중 Ground가 되지않은 파트들이 전하축적이 일어날 것이라고 생각해서 이 파트들을 Ground처리를 하거나 파트의 재질을 세라믹 등 절연체로 변경하는 등의 방안을 생각했었습니다.

그런데 Ground가 되어있지 않은 몇몇 부품들의 재질을 알아보니 Al재질이고 50um~80um정도로 Hard Anodizing이 된 부품들이었습니다.

구글링해보니 경질 아노다이징이 되어있는 Al의 절연파괴 전압은 1000V이상으로 이미 거의 절연체에 가까워서 이 몇몇 파트를 Ground처리를 한다고하여 Arcing이 개선될지 의문이 생기게 되었습니다.

그리고 실제 Arcing이 발생된 파트는 Ground와 무관하게도 챔버내 전혀 다른 part 였기도 해서 제가 생각한 방안이 효과가 어느정도로 잇을지.... 교수님의 사견이 궁금해서 질의드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5868
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17329
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53150
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64547
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85161
79 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2912
78 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2807
77 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2686
76 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2489
75 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2449
» 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2427
73 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2161
72 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2123
71 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1902
70 가입인사드립니다. [1] 1811
69 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1779
68 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1650
67 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 1496
66 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1494
65 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1467
64 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1465
63 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1442
62 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1432
61 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1391
60 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 1384

Boards


XE Login