ATM Plasma 유전체 플라즈마

2004.06.19 16:54

관리자 조회 수:17556 추천:292

유전체 플라즈마에 관심이 많으시군요. 저희 실험실도 DBD 실험을 하고 있으며 자동차에도 적용할 수 있을 것으로 기대합니다.

질문에서 일반적인 DBD 반응기의 경우 구조가 전극+유전체+공기+유전체+전극의 구조로 되어 있고 그 이유에 대한 궁금증인것 같습니다. 전극 앞의 유전체가 하는 일은 발생한 플라즈마로부터 전극으로 직접 빠져 나가는 전하를 가두고 또한 이차전자를 방출하는 역할을 합니다. 만일 전극 사이에서 플라즈마가 발생되면 전극 사이에 있는 공기는 더 이상 절연성이 높은 유전체가 아닙니다. 오히려 전기 전도도가 좋은 물질, 즉 플라즈마와 공기 개스가 혼재된 상태의 유전 물질로 변하게 됩니다. 따라서 그 특성은 전극 표면의 유전체와는 본질적으로 다른 것입니다. 아울러 전극 간에서 일어나는 break down에 대하여 궁금해 하였는데 저희 강의록을 찾아 보면 Paschen curve에 대한 내용이 있습니다. DC 방전이 일어날 수 있는 조건을 개념적으로 설명해 놓았으니 참고하시기 바랍니다. 다라서 DBD에서 일어나는 방전은 corona 방전과는 달리 넓은 면적에서 방전이 일어나는 특징을 갖아 면방전이라 부르기도 하는 glow 방전의 일종이 됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20189
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
79 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1900
78 가입인사드립니다. [1] 1880
77 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1810
76 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1737
75 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1670
74 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1660
73 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1607
72 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1600
71 plasma 형성 관계 [1] 1514
70 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1487
69 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1452
68 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1444
67 ICP lower power 와 RF bias [1] 1436
66 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1402
65 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1395
64 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 1354
63 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1330
62 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1323
61 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1286
60 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1273

Boards


XE Login