Others Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용

2004.06.19 16:12

관리자 조회 수:21307 추천:266

Xe 기체는 특히 여기가 잘되는데, 여기 반응 후 ground state로 떨어질 때 방출하는 빛 파장이 일정합니다. 대개는 UV 빛이 나오고 있으며 이때 나오는 빛이 단일 파장이므로 이를 이용하여 각종 광학기기기의 calibration등에 활용할수 있습니다.

아울러 PDP에도 소량의 Xe 기체가 첨가되는데 이 또한나오는 UV에 의해서 PDP 셀 내의 발광물질을 여기시켜 가시 광선영역의 빛(Red, Green, Blue)을 발하기 때문입니다. 마치 형광등과 같은 원리이나 빛의 삼원색을 각기 낸다고 생각하면 됩니다.

Xe lamp에는 고전압 DC 방전을 하고 있는 것으로 알고 있습니다. 이때 형성되는 플라즈마가 arc 영역의 플라즈마가 될 가능성이 있으나 이런 경우에는 전극의 수명이 매우 짧게 될 것이빈다. 하지만 빛의 세기는 매우 세어서 눈이 부실 정도 이상입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
55 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1204
54 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1193
53 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1176
52 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1143
51 공정플라즈마 [1] 1136
50 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1122
49 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1119
48 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1113
47 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1043
46 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1039
45 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1025
44 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 972
43 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 966
42 anode sheath 질문드립니다. [1] 959
41 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 948
40 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 911
39 Plasma Generator 관련해서요. [1] 905
38 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 850
37 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 840
36 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 825

Boards


XE Login