ATM Plasma 유전체 플라즈마

2004.06.19 16:54

관리자 조회 수:17556 추천:292

유전체 플라즈마에 관심이 많으시군요. 저희 실험실도 DBD 실험을 하고 있으며 자동차에도 적용할 수 있을 것으로 기대합니다.

질문에서 일반적인 DBD 반응기의 경우 구조가 전극+유전체+공기+유전체+전극의 구조로 되어 있고 그 이유에 대한 궁금증인것 같습니다. 전극 앞의 유전체가 하는 일은 발생한 플라즈마로부터 전극으로 직접 빠져 나가는 전하를 가두고 또한 이차전자를 방출하는 역할을 합니다. 만일 전극 사이에서 플라즈마가 발생되면 전극 사이에 있는 공기는 더 이상 절연성이 높은 유전체가 아닙니다. 오히려 전기 전도도가 좋은 물질, 즉 플라즈마와 공기 개스가 혼재된 상태의 유전 물질로 변하게 됩니다. 따라서 그 특성은 전극 표면의 유전체와는 본질적으로 다른 것입니다. 아울러 전극 간에서 일어나는 break down에 대하여 궁금해 하였는데 저희 강의록을 찾아 보면 Paschen curve에 대한 내용이 있습니다. DC 방전이 일어날 수 있는 조건을 개념적으로 설명해 놓았으니 참고하시기 바랍니다. 다라서 DBD에서 일어나는 방전은 corona 방전과는 달리 넓은 면적에서 방전이 일어나는 특징을 갖아 면방전이라 부르기도 하는 glow 방전의 일종이 됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92261
59 플라즈마 챔버 [2] 1239
58 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1220
57 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1189
56 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1172
55 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1170
54 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1161
53 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [1] file 1156
52 공정플라즈마 [1] 1145
51 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1058
50 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1056
49 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
48 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 995
47 anode sheath 질문드립니다. [1] 982
46 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 972
45 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 971
44 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 917
43 Plasma Generator 관련해서요. [1] 908
42 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 862
41 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 845
40 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 831

Boards


XE Login