ATM Plasma 플라즈마를 이용한 오존 발생장치
2004.06.19 17:13
질문에 혼돈이 있는 이유는 플라즈마를 이용한 오존 발생기가 있기 때문입니다. 다시 이야기 하면 오존을 만들기에 적합한 플라즈마 발생 방치들이 있다는 말입니다. 이와 다른 방법으로 오존을 만드는 예에대해서는 저는 잘 아지 못하고 다만 플라즈마를 이용한 오존 발생장치를 예로 하겠습니다. 최근에는 DBD 방법으로 산소 플라즈마를 만들다 보면 많은 오존에 형성되게 됩니다. 또한 Corona 방전, 대부분 고전압 펄스 방전에서 형성되는 플라즈마를 의미하는데 이를 대기압 상태에서 형성시키다 보면 공기 중 산소에 의해서 오존이 다량 셩성되기도 합니다. 앞에서 말한 Corona 방전기, 대기압 방전, DBD등은 이전 설명을 참고하시고 이들 방전기를 플라즈마 발생기의 한 종류라 생각할 수 있으며 일반적인 플라즈마 발생기에 비해서 높은 운전 압력, 즉 대기압 등의 조건에서 플라즈마를 발생하는 장치, 큰 의미의 플라즈마 발생기라 할 수 있습니다.
참고로 플라즈마라는 표현은 플라즈마 상태를 의미하는 것으로 물질의 상태 중 하나입니다. 따라서 대부분의 개스는 플라즈마 상태를 만드는 대상이 될 수 있으며 산소를 포함하지 않은 개스를 플라즈마 상태로 만들 경우 물론 오존의 발생 가능성은 거의 없습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20190 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
39 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 812 |
38 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 806 |
37 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 800 |
36 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 800 |
35 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 789 |
34 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 784 |
33 | 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] | 760 |
32 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 756 |
31 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 714 |
30 | 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] | 681 |
29 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 678 |
28 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 618 |
27 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 609 |
26 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 601 |
25 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 592 |
24 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
23 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 576 |
22 | 핵융합 질문 [1] | 567 |
21 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 550 |
20 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 516 |