Plasma in general plasma etching을 관련 문의드립니다.
2019.03.26 14:10
안녕하세요. 서울대학교 재료공학부 오규환 교수님 연구실 박사과정 정제준입니다.
SiC 샘플에 plasma etching을 하려고 하는데 CF4 or O2 플라즈마를 이용해서 실험을 해보려고 합니다.
1. 플라즈마 응용연구실에서 장비가 있다면 사용이 가능한지요?
2. SiC etching에 다른 플라즈마 소스를 추천해주신다면 어떤게 있을까요?
3. 장비가 없으시면 다른곳을 추천해주시면 감사하겠습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76714 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20170 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68696 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92273 |
22 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 420 |
21 | LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] | 146 |
20 | 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] | 206 |
19 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11446 |
18 | Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] | 756 |
17 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1506 |
16 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2127 |
15 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 954 |
14 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3443 |
13 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1037 |
12 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2727 |
11 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1951 |
10 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2173 |
9 | 방전에서의 재질 질문입니다. [1] | 3557 |
8 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9025 |
7 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13056 |
6 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17749 |
5 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134444 |
4 | Breakdown에 대해 | 21365 |
3 | plasma와 arc의 차이는? | 24656 |
반도체 공동 연구소가 좋겠군요.