Plasma Source Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
2019.06.26 10:25
안녕하십니까.. 현재 반도체업계 종사중이며 Plasma 관련 일을 하고 있습니다.
다름이 아니오라 궁금한 점이 있어 이렇게 글을 올립니다.
Plasma에 의한 Gas 분해 및 치환 시 하기와 같은 예로
Zr[N(CH3)(C2H5)]4 ---->Zr + N + C + H (O2 Add)
-- Zr + O2 --->ZrO2
-- C + O2 -->CO2
-- N + N --> N2
-- 4H + O2 -->2H2O
반응하여 생성된다고 가정하였을 때
반도체 공정중에서 Plasma를 발생시켜 Source Gas 및 Add Gas를 반응시켰을 시
1. 생성되는 Powder 종류
2. 생성되는 Gas 종류
3. 항목 1~2에서 우선순위로 생성되는 Gas 및 Powder 종류
위 내용에 관련하여 조언 및 교육을 받고자 하오니 답변 부탁드리겠습니다.
이상입니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
22 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 394 |
21 | LXcat Dataset에 따른 Plasma discharge 에 대한 질문입니다. [1] | 141 |
20 | 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] | 199 |
19 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11415 |
18 | Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] | 734 |
17 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1475 |
16 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2092 |
15 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 949 |
14 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3435 |
13 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1028 |
12 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2716 |
11 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1923 |
10 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 2162 |
9 | 방전에서의 재질 질문입니다. [1] | 3552 |
8 | 안녕하세요 교수님. [1] | 8992 |
7 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13042 |
6 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17729 |
5 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134434 |
4 | Breakdown에 대해 | 21332 |
3 | plasma와 arc의 차이는? | 24536 |
powder 문제는 성균관대학교 기계공학과 김태성교수님 혹은 교통대학교 김성룡 교수님께 문의드려 보시면 도움을 받을 수 있을 것 같습니다.