Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다.
2021.08.12 16:29
안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.
플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.
플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.
이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75787 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19470 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56676 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68065 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90360 |
| 25 | 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] | 254 |
| 24 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 604 |
| » | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 943 |
| 22 | 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] | 1635 |
| 21 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1817 |
| 20 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 1905 |
| 19 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2244 |
| 18 | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 2920 |
| 17 | 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 | 3144 |
| 16 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5852 |
| 15 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8083 |
| 14 | 산업용 플라즈마의 특성 | 15100 |
| 13 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 17345 |
| 12 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] | 17530 |
| 11 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17726 |
| 10 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18171 |
| 9 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18428 |
| 8 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18743 |
| 7 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 18803 |
| 6 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 19916 |