번호 | 제목 | 조회 수 |
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공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67545 |
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4 | 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] | 1615 |
3 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 908 |
2 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 539 |
1 | 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] | 150 |