Ion/Electron Temperature 고온플라즈마와 저온플라즈마

2004.06.19 16:20

관리자 조회 수:23101 추천:253

플라즈마를 구분함에 있어서 저온 플라즈마와 고온 플라즈마를  구분하기 위한 절대 온도의 개념이 설정되어 있는 것은 아닙니다. 일반적으로 산업용 플라즈마의 경우 저온 플라즈마가 형성되고 핵융합과 같은 플라즈마의 경우 전자의 온도가 수 keV 가 됨으로 고온 플라즈마라 합니다. 산업용 플라즈마는 대부분 전자 온도가 10 eV 미만이며 이온의 온도는 이보다 매우 낮아 일반적으로 방안 온도와 유사하다고 생각하기도 합니다. 실측된 이온 전자온도 값도 전자 온도의 1/10 미만의 크기를 보여줍니다.
이에 반해서 핵융합로 같이 플라즈마 구속이 좋은 경우 전자의 온도와 이온의 온도가 모두 수 keV가 되니 고온이라 할수 있으며 핵융합로 자체가 고온 고밀도 플라즈마에 대한 연구가 목적임으로 플라즈마의 발생과 구속 및 가열을 통하여 플라즈마의 온도를 향상 시킴니다. 산업용 플라즈마에서는 전자의 온도 상승이 대부분의 원치 않는 처리 결과를 야기함으로 낮은 전자온도의 플라즈마를 요구하기도 합니다. 또한 효율적으로 플라즈마가 구속되지 않음으로 전자 및 이온의 온도가 낮습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
25 플라즈마 온도 27734
» 고온플라즈마와 저온플라즈마 23101
23 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21992
22 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 21979
21 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21870
20 플라즈마 진동수와 전자온도 19998
19 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? 19010
18 등온플라즈마와 비등온플라즈마 18762
17 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18693
16 저온 플라즈마에 관한 질문 18190
15 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17786
14 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17666
13 고온플라즈마와 저온플라즈마 17403
12 산업용 플라즈마의 특성 15144
11 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8114
10 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5910
9 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3167
8 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3163
7 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2273
6 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2115

Boards


XE Login