Ion/Electron Temperature 고온플라즈마와 저온플라즈마
2004.06.19 16:20
플라즈마를 구분함에 있어서 저온 플라즈마와 고온 플라즈마를 구분하기 위한 절대 온도의 개념이 설정되어 있는 것은 아닙니다. 일반적으로 산업용 플라즈마의 경우 저온 플라즈마가 형성되고 핵융합과 같은 플라즈마의 경우 전자의 온도가 수 keV 가 됨으로 고온 플라즈마라 합니다. 산업용 플라즈마는 대부분 전자 온도가 10 eV 미만이며 이온의 온도는 이보다 매우 낮아 일반적으로 방안 온도와 유사하다고 생각하기도 합니다. 실측된 이온 전자온도 값도 전자 온도의 1/10 미만의 크기를 보여줍니다.
이에 반해서 핵융합로 같이 플라즈마 구속이 좋은 경우 전자의 온도와 이온의 온도가 모두 수 keV가 되니 고온이라 할수 있으며 핵융합로 자체가 고온 고밀도 플라즈마에 대한 연구가 목적임으로 플라즈마의 발생과 구속 및 가열을 통하여 플라즈마의 온도를 향상 시킴니다. 산업용 플라즈마에서는 전자의 온도 상승이 대부분의 원치 않는 처리 결과를 야기함으로 낮은 전자온도의 플라즈마를 요구하기도 합니다. 또한 효율적으로 플라즈마가 구속되지 않음으로 전자 및 이온의 온도가 낮습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76726 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20182 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68698 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92276 |
6 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1972 |
5 | 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] | 1683 |
4 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1011 |
3 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 687 |
2 | 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] | 373 |
1 | Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] | 162 |