Others Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency]

2022.01.11 14:32

박준석 조회 수:3685

안녕하세요 교수님. 반도체 공정팀에서 근무하는 엔지니어입니다.

 

RIE 장비 Process 담당하게 되어 공부중인데

Recipe Tuning 중 Bias Select 모드에서, 

Bias 를 W 와 V 중 선택하게 되었는데 둘의 차이점이 궁금합니다.

 

또한 self bias와 관련이 있는지 답변해주시면 감사하겠습니다.

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