Others O2 Plasma 에칭 실험이요

2019.01.30 14:20

Elin0503 조회 수:1031

안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.


이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.


그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..


혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면 


공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..


도움 부탁드리겠습니다..

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79546
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21329
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58124
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69691
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94586
82 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1113
81 질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포] [1] 2675
80 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [충돌 거리 및 Deposition] [1] 830
79 Group Delay 문의드립니다. [마이크로파] [1] 1225
78 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘] [2] 4211
77 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 502
76 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 872
» O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1031
74 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시] [1] file 443
73 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 3783
72 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 891
71 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 775
70 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1629
69 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 381
68 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor] [1] 1441
67 RF frequency와 RF power 구분 39203
66 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 530
65 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length] [1] 5399
64 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 940
63 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model] [1] 1507
쓰기
태그

Boards

XE Login