Others O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
2017.02.22 22:41
안녕하세요 서울대학교 박사과정 학생입니다.
실험을 설계하는중 플라즈마 공정에 관해서 모르는 점이 많아서 여쭤봅니다.
O2 Plasma etch공정에서 저희가 sample이 받는 Total 플라즈마 에너지 혹은 etch rate을 일정하게
유지하면서 Power를 바꿔보고싶습니다. 가스 flow rate 와 가스 종류, 시간은 바꾸지 않고 power와 pressure만 컨트롤 해서 유지가 가능할까요? 이렇게 할 경우에 Power가 바뀔시 Pressure가 어떤식으로 바껴야 Plasma energy를 가능한 일정하게 유지할 수있는지를 알수있는 식이나 상관관계가 있나요?
예를 들어서, power: 50W, 에서 100W로 두배 올릴때 압력은 어떤 변화를 가지게 되나요?
정확한 수치를 계산하는 목적이 아닌 대략적으로라도 실험을 일관성 있게 진행하려는 목적으로 질문을 드립니다.
답변 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73025 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17615 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55515 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65695 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86026 |
| 74 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1]  | 327 |
| 73 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 2742 |
| 72 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 745 |
| 71 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 644 |
| 70 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1379 |
| 69 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 311 |
| 68 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1060 |
| 67 | RF frequency와 RF power 구분 | 38800 |
| 66 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 363 |
| 65 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 4579 |
| 64 | 문의 드립니다. [1] | 746 |
| » | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1237 |
| 62 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 4678 |
| 61 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1294 |
| 60 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
| 337 |
| 59 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1278 |
| 58 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 3245 |
| 57 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6379 |
| 56 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 53327 |
| 55 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8508 |
플라즈마 물리 모형 관점으로 보기 바랍니다. 플라즈마 생성에서 전력과 압력에 대한 플라즈마 밀도 와 온도 변화를 예상할 수 있는 모델을 이용합니다. 예측하는 모델을 particle and energy balance를 통한 global model이라고 하며, 대부분의 플라즈마 교재에 설명이 되어 있습니다. 아울러 이들 운전 조건에 따른 플라즈마 인자 조절은 플라즈마 제어에 해당하겠으며, 비교적 미세한 변동의 제어도 이 모델 기반으로 수행할 수 있으며, 이 플라즈마 물리 모형 기반 제어기를 제작할 수 있습니다. 최근 이 주제는 플라즈마 제어라는 주제로 발전하고 있으니 관심을 가질 만 합니다. (물리 모델의 교과서 참고 Lieberman's Priciples of plasma discharges and material processing, 2nd ed, chapter 10:"particle and energy balance in discharge")