Others Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
2018.11.26 11:53
안녕하세요. 반도체 관련 회사에 근무하는 엔지니어 입니다.
He Plasma 를 안정적으로 띄우려고 하는데 몇 가지 궁금한 점이 생겨 질문 드립니다.
1) 챔버에 He 외에 다른 gas는 넣지 않고 RF power를 인가했는데 plasma의 색이 아래와 같은 색을 내뿜었습니다.
https://i.ytimg.com/vi/5XPwfbeogi0/hqdefault.jpg
하지만 인터넷에서 찾아본 He plasma의 색은 이 색 외에도 붉은색과 연한 주황색도 있었습니다. 그리고 제가 공장 견학중에 보았던 He plasma의 색은 연한 주황색에 가까웠었습니다.(그때 역시 챔버 내에는 He gas만 있었습니다.)
이상하게 여겨 생각해봤는데, 전자가 여기된 후 n=2인 전자궤도에 떨어질때 빛이 방출되는 것이니 전자가 더 큰 에너지를 받거나 더 적은 에너지를 받아 여기되었다면 다른 색이 나올 수도 있을거라 생각했습니다.
하지만 그렇다면 Gas별로 고유한 plasma색이 있다고 알고있던 사실과 충돌하여 어느 것이 맞는지 궁금합니다.
2) He외에 N2도 같이 넣어 plasma를 띄우니 아래와 같은 색이 나타났습니다.
기존에 제가 공장에서 봤던 He plasma 색도 이 색이었는데 왜 N2가 들어가고나서 이런 색이 나오는지 궁금합니다.
3) 질소 플라즈마의 경우에도 알아보니 다양한 색이 나오던데 혹시 DC 인지 RF인지 RF라면 주파수에 따라서도 색이 바뀔 수 있는건가요?
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] | 73076 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17641 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55521 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65730 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86105 |
| 75 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 823 |
| 74 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1]  | 328 |
| » | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 2748 |
| 72 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 747 |
| 71 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 645 |
| 70 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1382 |
| 69 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 311 |
| 68 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1065 |
| 67 | RF frequency와 RF power 구분 | 38802 |
| 66 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 363 |
| 65 | RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] | 4588 |
| 64 | 문의 드립니다. [1] | 749 |
| 63 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1238 |
| 62 | O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] | 4701 |
| 61 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1296 |
| 60 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
| 338 |
| 59 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1280 |
| 58 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 3261 |
| 57 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6382 |
| 56 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 53350 |
관련 사항에 대해서는 게시판에서 찾아 보시면 이해에 도움을 받을 자료가 있겠습니다 (찾기- 플라즈마 색),참고가 되었으면 합니다.