Others 문의 드립니다.

2017.03.23 15:40

메탈 조회 수:663

안녕하세요. 반도체 회사 근무중인 송용재입니다.


3가지 질문을 드리려고 합니다.


염근영 교수님 플라즈마 식각 기술이라는 책을 구매하여 보고있는데 제 실력이 부족해서 이해가 되지않아 질문 남깁니다.


1.  이온의 속도는 왜 전자의 온도로 결정되는건가요? 공식은 알겠지만 .. 메카니즘이 이해되지 않아 질문 남깁니다.


2. RF 등가회로는 왜 저항으로 표기 되는건가요??


3. 파센법칙 관련해서 질문드립니다.

    진공상태에서 거리가 멀어지는데 왜 입자수가 증가되는건가요?

     입자간의 전기장은 전자의 가속과 왜 관계가 있는건가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3659
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15347
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63000
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82154
93 플라즈마 관련 교육 [1] 38
92 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 144
91 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 161
90 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 267
89 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 275
88 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 276
87 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 283
86 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 286
85 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 313
84 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 323
83 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 329
82 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 337
81 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 367
80 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 444
79 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 477
78 플라즈마 충격파 질문 [1] 641
» 문의 드립니다. [1] 663
76 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 693
75 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 706
74 진학으로 고민이 있습니다. [2] 715

Boards


XE Login