안녕하세요. 제가 최근에 플라즈마 코팅관련 회사에 입사하여 현재 플라즈마 공부중 입니다.

현재 VPS장비로 테스트 중인데 0~1 torr 보다 30~50 torr 일 떄 플라즈마제트의 모습이 훨씬 안정적인 이유를 어떻게 설명할 수 있을까요?

0~1 torr 일 때는 플라즈마의 형상이 지나치게 두껍고 불안정적인 모습입니다. 반면 챔버 내부의 압력을 증가시켰을 때는 훨씬 안정적이고

얇은 플라즈마의 형태를 띄고 있습니다. 이를 residence time과 관련해서 이해를 해야할까요?

아직 많은 논문들을 찾진 못했지만 대부분의 논문에서도 30~300 torr로 실험한 조건들이 많아 보였습니다.

또 다른 한가지 질문은 VPS 공정에서 분위기가스 즉 챔버내를 아르곤같은 불활성기체로 채워주는 이유는 단순하게 산화나 질화등을 막기

위함인가요? 분위기가스의 역할을 어떻게 정의하면 될까요?

기초적인 질문 죄송합니다. 답변 주시면 감사하겠습니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3659
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15347
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63000
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82154
93 플라즈마 관련 교육 [1] 38
92 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 144
91 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 161
90 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 267
89 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 275
88 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 276
87 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 283
» VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 286
85 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 313
84 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 323
83 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 329
82 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 337
81 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 367
80 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 444
79 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 477
78 플라즈마 충격파 질문 [1] 641
77 문의 드립니다. [1] 663
76 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 693
75 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 706
74 진학으로 고민이 있습니다. [2] 715

Boards


XE Login